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      FD7004PA硅片研磨機

      FD7004PA硅片研磨機


      終身可享免費的技術支持和設備升級服務

      • 所屬系列:硅片研磨拋光機
      • 產品型號:FD7004PA
      訂購熱線:0755-26527403

      FD7004PA硅片研磨機

      主要用途:

      本設備主要用于藍寶石襯底、藍寶石外延片、硅片、陶瓷、石英晶體、其他半導體材料等薄形精密零件的單面高精密研磨及拋光。

      設備特點:1.本設備為單面精密研磨設備,采用先進的機械結構和控制方法,研磨加工效率高,運行穩定。

      2.整機采用PLC+觸摸屏控制系統,設備參數設置和操作簡單方便,系統穩定性高。

      3.主電機采用變頻調速控制,實現主機軟啟動、軟停機,降低設備運行沖擊,減少工件損傷。

      4.工件研磨壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實現壓力的閉環控制,保證極高的施壓精度與穩定性。

      5.上壓盤采用主動驅動方式,在確保產品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統一性。

      6.研磨盤與上壓盤都設置了冷卻水冷卻功能,在保證研磨液發揮最大效率的同時減少研磨盤面的變形。

      7.設備自帶盤面修整機,盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。

      設備參數:

      磨盤規格

      700mm

      陶瓷盤直徑

      240-260mm

      主電機功率

      4KW/380V

      壓盤電機功率

      0.4KW/380V*4(選配)

      主電機轉速

      100rpmmax

      設備工位數

      4

      設備規格

      1200*1500*2300mm

      設備重量

      2000KG


      設備圖片:

      3D陶瓷拋光機650532

      該設備磨拋效果:

      2點5D陶瓷后蓋研磨效果圖500

      藍寶石研磨效果500400

      技術參數 

      ?  拋光盤尺寸                                                     Φ700mm×   Φ160mm×12.7mm 

      ?  工作工位                                                      4  組  

      ?  陶瓷吸盤直徑                                                    Φ305mm  

      ?  加壓方式                                                      氣缸加壓  

      ?  主電機功率                                                     4 KW/380V  

      ?  工件盤驅動功率(伺服馬達)                                             0.4KW/380V ×4 (選配)  

      ?  工作氣壓                                                      0.4-0.6MPa  

      ?  工件盤轉 速                                                    1-40rpm  

      ?  拋光盤轉速                                                     5- 100rpm  

      ?  加工粗糙度                                                     Ra:0.0002  

      ?  設備總重量                                                     1800 kg  

      ?  外形尺寸L ×W ×H                                               950 ×1350 ×2300 mm  


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